● 集成原子力顯微鏡(AFM),橫向力顯微鏡(LFM),掃描隧道顯微鏡(STM),導(dǎo)電原子力顯微鏡(C-AFM), 磁力顯微鏡(MFM)和靜電力顯微鏡(EFM)
● 原子力顯微鏡具有接觸、輕敲、相移成像、抬起等多種工作模式
● 具備液相掃描探針顯微鏡和環(huán)境控制掃描探針顯微鏡功能
● 具有高精度實時環(huán)境溫度、濕度檢測功能
● 具有I-V曲線、I-Z曲線、力-距離曲線和振幅-距離曲線等測量分析功能
● 具有圖形化刻蝕、壓痕/機(jī)械刻畫、矢量掃描、DPN浸潤筆等模式的納米加工技術(shù)
● 快速全自動進(jìn)樣，無需手工粗調(diào)
● 只需要更換探針架，即可在STM和AFM等不同類型儀器中切換
● 全數(shù)字控制,系統(tǒng)狀態(tài)、儀器類型、掃描器和探針架參數(shù)智能識別和控制
● 探頭內(nèi)置亮度連續(xù)可調(diào)的照明光源
● 主控制系統(tǒng)采用德州儀器(TI)32位高性能數(shù)字信號處理器(DSP)
● 主控制系統(tǒng)采用10M/100M快速以太網(wǎng)(Fast Ethernet 10/100)與計算機(jī)連接
● 樣品尺寸增大至直徑45mm、厚度30mm
● 基于Windows Vista/XP/2000/9X的在線控制軟件和后處理分析軟件
● 具備雙向掃描(Trace-Retrace)、往返掃描功能
● 具備實時在線三維圖像顯示功能
● 具備自動更新掃描圖像亮度、對比度功能
● 掃描圖像和當(dāng)前全部工作環(huán)境參數(shù)同步保存
● 具有數(shù)據(jù)導(dǎo)出功能，用戶可取得原始數(shù)據(jù)
● 具有******、***際相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)全系列參數(shù)的樣品粒度和粗糙度自動分析功能
● 可連續(xù)采集、存儲和重現(xiàn)動態(tài)過程（納米電影）
● 針尖表征及圖像重建功能(針尖形貌估計/圖像重建/用已知針尖重建圖像)
● 按功能模塊劃分的總線插卡式結(jié)構(gòu)，便于日后系統(tǒng)維護(hù)和升***
● 可附加光學(xué)顯微輔助系統(tǒng)和第二顯示器
技術(shù)指標(biāo)
? 系統(tǒng)功能
原子力顯微鏡(AFM)，包括接觸、輕敲、相移成像(Phase Imaging)、抬起(Lift Mode)等多種工作模式
橫向力顯微鏡（LFM），導(dǎo)電原子力顯微鏡（C-AFM）,磁力顯微鏡(MFM)，靜電力顯微鏡(EFM)
掃描隧道顯微鏡（STM），包括恒流模式、恒高模式、I-V曲線、I-Z曲線等
液相掃描探針顯微鏡成像，環(huán)境控制掃描探針顯微鏡成像
納米加工和操縱，包括圖形化刻蝕、壓痕/機(jī)械刻畫、矢量掃描、DPN浸潤筆等模式
? 分辨率
原子力顯微鏡(AFM)：橫向 0.26nm, 垂直 0.1nm（以云母晶體標(biāo)定）
掃描隧道顯微鏡(STM)：橫向 0.13nm, 垂直 0.01nm（以石墨晶體標(biāo)定）
? 參數(shù)性能
電流檢測靈敏度：≤10pA
力檢測靈敏度：≤5pN
圖像分辨率：128X128,256X256,512X512,1024X1024,2048X2048
掃描角度：0～360°
掃描頻率：0.1～100Hz
預(yù)置隧道電流：0.001～10nA
偏置電壓：-10～+10V
溫度檢測精度：0.1℃，濕度檢測精度：0.5％RH
? 電子控制系統(tǒng)
中央處理器：德州儀器（TI）32位數(shù)字信號處理器(DSP)，時鐘主頻600MHz，運(yùn)算速度4800MIPS
20通道高速DAC
20通道高速ADC
通信接口：10M/100M快速以太網(wǎng)（Fast Ethernet 10/100）接口
? 機(jī)械性能
樣品尺寸：***大可達(dá)直徑45mm，厚度30mm
全自動步進(jìn)電機(jī)控制進(jìn)樣系統(tǒng)：行程30mm，定位精度50nm/步
? 軟件系統(tǒng)
基于Windows Vista/XP/2000/9X的在線控制軟件和后處理軟件
主要特點(diǎn) 1.功能齊全
CSPM5000掃描探針顯微鏡功能齊全,涵蓋掃描隧道顯微鏡、原子力顯微鏡、導(dǎo)電原子力顯微鏡、橫向力/摩擦力顯微鏡、磁力/靜電力顯微鏡、環(huán)境檢測及控制掃描探針顯微鏡(氣氛、溫濕度、樣品加熱等)、納米加工......
2.超高性能DSP
CSPM5000掃描探針顯微鏡控制系統(tǒng)內(nèi)置了德州儀器(TI)公司的TMS320DM642數(shù)字信號處理器(DSP)，其運(yùn)算速度達(dá)到了每秒4800兆次運(yùn)算(4800MIPS)。 性能超卓的DSP賦予了儀器***顆奔馳的心，使儀器能夠從容應(yīng)對各種復(fù)雜的信號處理任務(wù)。
3.多種納米加工功能
CSPM5000掃描探針顯微鏡可進(jìn)行多種納米加工，包括圖形化納米刻蝕、壓痕/機(jī)械刻畫、矢量掃描、DPN浸潤筆等。
4.溫度、濕度實時檢測
CSPM5000掃描探針顯微鏡內(nèi)置環(huán)境溫度、濕度實時檢測。用戶可隨時對當(dāng)前的檢測環(huán)境進(jìn)行監(jiān)控。
5.內(nèi)置實時操作系統(tǒng)
CSPM5000掃描探針顯微鏡內(nèi)置了***個實時操作系統(tǒng)spm/DNA（spm/DNA為本原的商標(biāo)）。spm/DNA使儀器能夠同時從容駕馭多個復(fù)雜的任務(wù)，保證系統(tǒng)的穩(wěn)定性、實時性和靈活性。spm/DNA獨(dú)具匠心的設(shè)計，還為用戶帶來更多的安全感。例如，spm/DNA獨(dú)有的探針保護(hù)功能，在用戶的控制計算機(jī)發(fā)生故障時（甚至是死機(jī)，或用戶故意拔掉計算機(jī)電源時），仍能保障探頭中的探針不被損壞。
6.采用以太網(wǎng)接口
CSPM5000掃描探針顯微鏡與計算機(jī)的接口采用以太網(wǎng)接口(Ethernet)，計算機(jī)與儀器的連接十分簡便，就像把您的計算機(jī)連接到局域網(wǎng)、集線器、寬帶網(wǎng)***樣簡單。
采用以太網(wǎng)接口，還帶來諸多好處：
1、可實現(xiàn)更靈活的拓?fù)溥B接,將儀器連接到局域網(wǎng)上，***個儀器可以同時與多部計算機(jī)連接,極大方便系統(tǒng)擴(kuò)展及二次開發(fā)；
2、更規(guī)范的軟件通信協(xié)議,更好的開放性,通信采用***際標(biāo)準(zhǔn)的TCP/IP協(xié)議,軟件編程接口規(guī)范統(tǒng)***,方便二次開發(fā),提高軟件的可維護(hù)性；
3、連接距離不受限制，直連網(wǎng)線可以長達(dá)100米，如果連接到局域網(wǎng)或廣域網(wǎng)上則距離可以不受限制；
4、速度更快,滿足大流量數(shù)據(jù)傳輸?shù)男枨?保證系統(tǒng)穩(wěn)定性；
5、排除計算機(jī)對儀器可能造成的電氣干擾；
6、兼容性高，用戶可以采用臺式機(jī)或筆記本作為控制主機(jī)。
7.具有兩***可讀數(shù)樣品調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)
CSPM5000掃描探針顯微鏡具備兩***可讀數(shù)樣品調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，可對樣品進(jìn)行精確的檢測區(qū)域定位。
......
儀器介紹 CSPM5000掃描探針顯微鏡是本原歷經(jīng)19年技術(shù)積淀而推出的新***代產(chǎn)品，在控制系統(tǒng)性能、探頭結(jié)構(gòu)和性能、軟件功能等方面均有大幅技術(shù)提升。CSPM5000同時也是本原公司所承擔(dān)的******高技術(shù)研究發(fā)展計劃（863計劃）項目——“掃描探針顯微集成系統(tǒng)的研制”項目的成果轉(zhuǎn)化產(chǎn)品，集成了本公司在該項目攻關(guān)過程中所取得的多項技術(shù)創(chuàng)新，為高端研究型儀器。
CSPM5000采用單***的掃描隧道/原子力探頭，集成 了掃描隧道顯微鏡、原子力顯微鏡、摩擦力顯微鏡、磁力和靜電力顯微鏡、導(dǎo)電原子力顯微鏡、液相掃描探針顯微鏡、環(huán)境控制掃描探針顯微鏡，工作模式包括接觸、輕敲、相移成像、抬起和納米加工等。
CSPM5000采用32位數(shù)字信號處理器、10M/100M快速以太網(wǎng)接口和高速雙16位AD/DA采集轉(zhuǎn)換，系統(tǒng)功能、穩(wěn)定性、控制采集精度和速度及可擴(kuò)展性均為***內(nèi)同類儀器的***高水平。
滬公網(wǎng)安備31011502016460號
