德國(guó)蔡司Zeiss超高分辨率場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡SUPRA? 40/40VP
價(jià) 格：詢價(jià)
產(chǎn) 地：德國(guó)更新時(shí)間：2020-10-20 14:13
品 牌：蔡司型 號(hào)：SUPRA? 40/40VP
狀 態(tài)：正常點(diǎn)擊量：2286
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聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)說(shuō)明是在上海非利加實(shí)業(yè)有限公司上看到的，謝謝！
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? 在整個(gè)電壓范圍內(nèi)的超高分辨率，
? 電壓范圍***低至0.1 kV，所需調(diào)整極少,
? 高束流，高穩(wěn)定性，
? 高效In-lens二次電子檢測(cè)器，可實(shí)現(xiàn)高分辨率的表面成像，
? 增強(qiáng)型VPSE探測(cè)器，可實(shí)現(xiàn)不導(dǎo)電試樣的成像
? 基于Windows? XP的SmartSEM?控制軟件，操作簡(jiǎn)便
產(chǎn)品參數(shù)
分辨率
SUPRA? 40/40VP | 1.3 nm @ 15 kV 2.1 nm @ 1 kV 5.0 nm @ 0.1 kV 2.0 nm @ 30 kV（VP模式） |
分辨率
SUPRA? 55/55 VP 及 60/60 VP | 1.0 nm @ 15 kV 1.7 nm @ 1 kV 4.0 nm @ 0.1 kV 2.0 nm @ 30 kV（VP模式） |
加速電壓 | 0.1 - 30 kV |
束流 | 4 pA - 10 nA（可選配20 nA） |
放大倍數(shù) | 12 - 900,000x |
電子槍 | 熱場(chǎng)發(fā)射型 |
VP真空度 | 2 - 133 Pa |
標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器 | In-lens二次電子探測(cè)器與樣品室內(nèi)ET探測(cè)器 VP型號(hào)采用VPSE探測(cè)器 |
圖象處理 | 7種積分和平均模式 |
系統(tǒng)控制 | 基于Windows?XP的SmartSEM? |
產(chǎn)品介紹
SUPRA?系列產(chǎn)品配備有經(jīng)過(guò)改進(jìn)的第三代GEMINI?鏡筒、概念新穎的樣品臺(tái)、智能化硬件控制板和新型高效率的透鏡內(nèi)二次電子探測(cè)器。
SUPRA?系列場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡是卡爾蔡司半導(dǎo)體事業(yè)部的納米技術(shù)系統(tǒng)部向市場(chǎng)推出的功能***多的場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡。具有當(dāng)前***先進(jìn)的儀器所具有的所有特征：如在圖像質(zhì)量***流時(shí)的超高分辨率、工作電壓切換方便、出色的束流穩(wěn)定性、全分析型樣品室、通過(guò)基于Windows? XP的SmartSEM?控制軟件實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)便的操作等顯著特點(diǎn)。在研究和發(fā)展的應(yīng)用中、失效分析和質(zhì)量保證等方面，SUPRA?系列場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡可提供迅速的、重復(fù)性好的、高可靠性的結(jié)果。
SUPRA?系列的多種儀器提供了全面的成像解決方案，可滿足半導(dǎo)體、材料分析、藥品制造和生命科學(xué)等領(lǐng)域中苛刻的應(yīng)用要求。對(duì)于不導(dǎo)電樣品，采用專利可變壓力（VP）技術(shù)的增強(qiáng)型可變壓力二次電子探測(cè)器（VPSE）可以得到***流的圖像和分析結(jié)果。GEMINI?鏡筒具有無(wú)與倫比的成像能力，尤其是在工作電壓低于1kV時(shí)成像能力尤為出色，這就使得SUPRA?成為適合所有納米科學(xué)應(yīng)用的成像工具。
SUPRA? 40/40VP
是SUPRA?系列中使用***多的產(chǎn)品，具有大型樣品臺(tái)，VP工作模式，尤其適合于失效分析、過(guò)程控制和低溫應(yīng)用。
SUPRA? 55/55VP
SUPRA?系列中多功能的產(chǎn)品，具有超高分辨率與全面分析應(yīng)用的能力。
WDS系列
適用于SUPRA? 55、SUPRA? 55 VP及ULTRA55
SUPRA? 60/60VP
擁有大樣品室以及6英寸超優(yōu)中心（super eucentric）樣品臺(tái)和8英寸樣品預(yù)抽室，適合對(duì)硅片進(jìn)行全面的分析，也非常適合需要檢查大型樣品的用戶。
滬公網(wǎng)安備31011502016460號(hào)
