MIRA II-XMH是TESCAN***新推出的可變真空?qǐng)霭l(fā)射掃描電子顯微鏡系列,以高品質(zhì),完全計(jì)算機(jī)控制,用戶友好界面為基礎(chǔ)的系列產(chǎn)品.具有很多用戶使用方便,產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定,分析高效為特點(diǎn)的獨(dú)創(chuàng)設(shè)計(jì).
1.高亮度肖特基發(fā)射可獲得高分辨率,高電流和低噪音圖片。獨(dú)有的三透鏡大視野觀察(Wide Field Optics?)設(shè)計(jì),該設(shè)計(jì)提供了多種工作模式和顯示模式,體現(xiàn)了Tescan特有可優(yōu)化電子束光闌的中間鏡設(shè)計(jì)。
2.結(jié)合了完善的電子光學(xué)設(shè)計(jì)軟件的實(shí)時(shí)電子束追蹤(In-Flight Beam Tracing?)可模擬和進(jìn)行束斑優(yōu)化。
3.成像速度快。
4.高吞吐量/自動(dòng)取域。例:自動(dòng)顆粒定點(diǎn)分析。
5.出眾的電動(dòng)載臺(tái)設(shè)計(jì),支持能譜儀(EDX),波譜儀(WDX),背散射電子衍射儀(EBSD)。
6.由于使用了強(qiáng)力的渦淪分子泵和無油干式機(jī)械泵,因而可以快速簡(jiǎn)單得到干凈的真空樣品室。電子槍由離子泵抽真空。
產(chǎn)品型號(hào):MIRA II-XMH 產(chǎn)地:歐洲
7.完善的顯微鏡自動(dòng)設(shè)置包括電子光路設(shè)置和對(duì)中。
8.成熟的控制軟件,圖片獲取,存檔,處理和分析功能。
9.網(wǎng)絡(luò)操作和內(nèi)置的遠(yuǎn)程控制/診斷是Tescan的標(biāo)準(zhǔn)配置。
10.15種強(qiáng)大的自動(dòng)功能。
11.完全自動(dòng)的軟件安裝。
12.強(qiáng)大的圖象處理功能,使用專業(yè)的電鏡控制軟件,圖像抓取,加工,處理和分析;
I.顯示尺寸:4種實(shí)時(shí)影像顯示尺,***大可至1024x1024;9種圖像存儲(chǔ)尺寸,***大可至8192x8192。同時(shí)可選擇正方形、4x3長(zhǎng)方形、2x1長(zhǎng)方形3種尺寸,也可同時(shí)顯示任意張實(shí)時(shí)影像或儲(chǔ)存圖像。
II.掃描速度:從200ns/圖素到10ms/圖素,可階***式或連續(xù)式的調(diào)整。
III.聚焦窗口:可連續(xù)式調(diào)整聚焦窗口的大小和位置。
IV.動(dòng)態(tài)聚焦,點(diǎn)&線掃描
V. 圖像處理(Image processing):提供15種圖像處理功能。
VI.量測(cè)功能:提供13種量測(cè)的功能
VII.圖像存盤:
1).瀏覽已儲(chǔ)存影像的相本。
2).找尋已儲(chǔ)存影像的數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)。
3).報(bào)告產(chǎn)生及從程序中直接打印。
4).實(shí)時(shí)或儲(chǔ)存的影像均可處理。
13.卓越的分析品質(zhì);
1)選擇目標(biāo)區(qū)域:以灰階及彩色為起始點(diǎn)-針對(duì)選擇的區(qū)域著色及量測(cè)。
2)3D掃描:可通過各探頭的配合,顯示真實(shí)的三維圖象。
3)硬度分析:以Vickers式硬度或Brinell式硬度標(biāo)準(zhǔn)來測(cè)量分析樣品。
4)多圖片校正:可以校正其它電鏡拍攝的照片的放大倍數(shù)。
5)打印放大倍數(shù):調(diào)整顯示屏以及打印輸出時(shí)放大倍數(shù)差異。
6)關(guān)機(jī)時(shí)間設(shè)定:可以設(shè)定第***次自動(dòng)關(guān)機(jī)時(shí)間。
7)公差 可選配軟件
8)形態(tài)學(xué):該軟件可對(duì)樣品圖片進(jìn)行自動(dòng)分析,測(cè)量和分類。其圖片來源可以是顯微鏡,數(shù)碼相機(jī)等。
9)顆粒度分析:可以對(duì)多區(qū)域內(nèi)的樣品進(jìn)行自動(dòng)測(cè)量,分析和分類(不過分析樣品必須在掃描窗口內(nèi))。該軟件結(jié)合形態(tài)學(xué)軟件使用,功能更加完善。
10)自動(dòng)連續(xù)截圖
11)樣品觀測(cè)
12)鼠標(biāo)連接:安裝該軟件后,可以用電子顯微鏡的鼠標(biāo)控制其他連接設(shè)備的鼠標(biāo)進(jìn)行操作。
技術(shù)參數(shù)
1.分辨率:高真空(SE)1.0nm at 30kV,1.5nm at 15kV
2.0nm at 3kV,3.5nm at 1kV
2.放大倍數(shù):3 to 1000,000x
3.真空系統(tǒng):高真空:樣品室<9*10 -3Pa,槍體真空<3*10 -7Pa
4.加速電壓0.5kV to 30Kv
5.電子束電流2pA—100nA
6.內(nèi)部直徑: 300mm(寬) x 300mm(深)
樣品室門:280mm(寬) x 310mm(高) 接口數(shù): 9+
7.樣品臺(tái)行程:(5軸馬達(dá)控制) X=130mm——馬達(dá)控制 Y=130mm——馬達(dá)控制 Z=100mm——馬達(dá)控制 R=360°連續(xù)馬達(dá)控制 T=-20° 至80°馬達(dá)
***大樣品高度143mm.
主要特點(diǎn)
***內(nèi)唯*********使用中文操作界面的電鏡廠商
1.電磁式電子槍自動(dòng)對(duì)中
2.可以提供四種觀察影像模式:分辨率模式;景深模式;廣角模式;魚眼模式,很方便尋找樣品位置;傾斜電子束模式
3.獨(dú)創(chuàng)的低真空二次電子探測(cè)器(LVSTD)
4.紅外線樣品室內(nèi)攝像裝置,可以在測(cè)量同時(shí)觀測(cè)樣品
5.真空系統(tǒng)采用***臺(tái)機(jī)械泵和***臺(tái)分子泵,電子槍部分使用離子泵,抽真空速度快,在更換樣品后,三分鐘內(nèi)就可達(dá)到待測(cè)狀態(tài);并且不需要使用冷卻水冷卻
6.采用氣墊減震系統(tǒng)
7.先進(jìn)的軟件系統(tǒng),在數(shù)據(jù)儲(chǔ)存數(shù)據(jù)記錄數(shù)據(jù)打印等方面具有多種創(chuàng)新功能
8.9個(gè)以上外擴(kuò)展接口.
9.可進(jìn)行遠(yuǎn)程控制