特點(diǎn):
6JA干涉顯微鏡是用來(lái)測(cè)量精密加工零件表面(平面、圓柱等外表面)光潔度的儀器。也可以用來(lái)測(cè)量零件表面刻線、刻槽鍍層(透明)等深度。儀器配以各種附件,還能測(cè)量粒狀,加工紋路混亂的表面,低反射率的工件表面。同時(shí)還能將儀器安置在工件上,對(duì)大型工件表面進(jìn)行測(cè)量。儀器測(cè)量表面不平深度范圍為1-0.03微米,用測(cè)微目鏡和照明方法來(lái)評(píng)定10-14光潔度的表面。本儀器適用于廠礦企業(yè)計(jì)量室,精密加工車(chē)間,也適用于高等院校,科學(xué)研究單位。
主要技術(shù)參數(shù):
• 目鏡:測(cè)微目鏡12.5X,測(cè)微鼓輪分劃值0.01mm
• 儀器放大倍數(shù):500X
• 儀器視場(chǎng):ф0.25 mm
• 物鏡:40X,數(shù)值孔徑0.65mm,工作距離0.5mm
• 標(biāo)準(zhǔn)鏡:高反射率≈50%,低反射率≈4%
• 工作臺(tái):升降范圍5mm,XY方向移動(dòng)范圍≈10mm,360度旋轉(zhuǎn)
• 綠色干涉濾色片:波長(zhǎng)λ≈5300A,半寬度≈100A
• 測(cè)量表面光潔度范圍:10-14
(相當(dāng)于測(cè)量表面不 平深度范圍為0.1um-0.03um)
• 光源:電珠燈泡6V15W,亮度可調(diào)