服務(wù)介紹:SEM/EDX(形貌觀測(cè)、成分分析)掃描電鏡(SEM)可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀成像。EDX是借助于分析試樣發(fā)出的元素特征X射線波長(zhǎng)和強(qiáng)度實(shí)現(xiàn)的,根據(jù)不同元素特征X射線波長(zhǎng)的不同來(lái)測(cè)定試樣所含的元素。通過(guò)對(duì)比不同元素譜線的強(qiáng)度可以測(cè)定試樣中元素的含量。通常EDX結(jié)合電子顯微鏡(SEM)使用,可以對(duì)樣品進(jìn)行微區(qū)成分分析。
服務(wù)范圍:軍工,航天,半導(dǎo)體,材料等
![](http://img5.app17.com/EditImg/20201216/637437167348235656.png)
服務(wù)內(nèi)容:1.材料表面形貌分析,微區(qū)形貌觀察
2.材料形狀、大小、表面、斷面、粒徑分布分析
3.薄膜樣品表面形貌觀察、薄膜粗糙度及膜厚分析
4.納米尺寸量測(cè)及標(biāo)示
5.微區(qū)成分定性及定量分析
SEM,EDS,XRD的區(qū)別,SEM是掃描電鏡,EDS是掃描電鏡上配搭的*個(gè)用于微區(qū)分析成分的配件——能譜儀,是用來(lái)對(duì)材料微區(qū)成分元素種類與含量分析,配合掃描電子顯微鏡與透射電子顯微鏡的使用。XRD是X射線衍射儀,是用于物相分析的檢測(cè)設(shè)備。
SEM用于觀察標(biāo)本的表面結(jié)構(gòu),其工作原理是用*束*細(xì)的電子束掃描樣品,在樣品表面激發(fā)出次*電子,次*電子的多少與電子束入射角有關(guān),也就是說(shuō)與樣 品的表面結(jié)構(gòu)有關(guān),次*電子由探測(cè)體收集,并在那里被閃爍器轉(zhuǎn)變?yōu)楣庑盘?hào),再經(jīng)光電倍增管和放大器轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘?hào)來(lái)控制熒光屏上電子束的強(qiáng)度,顯示出與電子束同步的掃描圖像。圖像為立體形象,反映了標(biāo)本的表面結(jié)構(gòu)。
EDS的原理是各種元素具有自己的X射線特征波長(zhǎng),特征波長(zhǎng)的大小則取決于能*躍遷過(guò)程中釋放出的特征能量△E,能譜儀就是利用不同元素X射線光子特征能量不同這*特點(diǎn)來(lái)進(jìn)行成分分析的。
XRD是利用衍射原理,精確測(cè)定物質(zhì)的晶體結(jié)構(gòu),織構(gòu)及應(yīng)力,精確的進(jìn)行物相分析,定性分析,定量分析。
說(shuō)簡(jiǎn)單點(diǎn),SEM是用來(lái)看微觀形貌的,觀察表面的形態(tài)、斷口、微裂紋等等;EDS則是檢測(cè)元素及其分布,但是H元素不能檢測(cè);XRD觀察的是組織結(jié)構(gòu),可以測(cè)各個(gè)相的比例、晶體結(jié)構(gòu)等。