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VEGA系列的設(shè)計(jì)適合各種SEM應(yīng)用及當(dāng)今研究和工業(yè)的需求。經(jīng)過(guò)10多年的不斷發(fā)展，TESCAN已經(jīng)成功開(kāi)發(fā)、研制和制造了VEGA的第三代產(chǎn)品。新***代的VEGA給用戶帶了zui新的技術(shù)優(yōu)勢(shì)，包括改進(jìn)的高性能電子設(shè)備使成像速度更快，包含了靜態(tài)和動(dòng)態(tài)圖像扭曲補(bǔ)償技術(shù)的超快掃描系統(tǒng)，內(nèi)置的編程軟件等，使VEGA系列產(chǎn)品保持著非常高的性價(jià)比。

LaB6發(fā)射源

TESCAN能提供介于肖特基與鎢燈絲性能之間的LaB6（六硼化鑭）作為電子發(fā)射源。LaB6的優(yōu)勢(shì)包括：穩(wěn)定的電子發(fā)射源（與場(chǎng)發(fā)射電子源相比），在陰極較低溫度下可獲取比較高的束流（與鎢燈絲電子源相比）。這就意味著在整個(gè)范圍的加速電壓和很長(zhǎng)的使用壽命中，LaB6可以保持很高的亮度和分辨率?；谄浞浅８叩陌l(fā)射電流，LaB6是需要大電子束流應(yīng)用領(lǐng)域的正確選擇。

現(xiàn)代電子光路

· 獨(dú)特的四透鏡大視野光路設(shè)計(jì)提供各種各樣的工作與顯示模式

· 以電磁的方式改變物鏡光闌——中間鏡的作用如同"光闌轉(zhuǎn)換器"

· 透鏡與線圈的優(yōu)質(zhì)材料使成象率達(dá)到20ns/像素，并減少了動(dòng)態(tài)扭曲效應(yīng)

· 結(jié)合了完善的電子光學(xué)設(shè)計(jì)軟件的實(shí)時(shí)電子束追蹤（In-Flight Beam Tracing™），可模擬和優(yōu)化電子束

· 鏡筒設(shè)計(jì)提供了全自動(dòng)電子光路設(shè)置，鏡筒不含機(jī)械對(duì)中結(jié)構(gòu)

· 3維電子束技術(shù)提供了實(shí)時(shí)立體圖像

檢修方便

只要很短的停機(jī)檢查后就能保持電鏡長(zhǎng)時(shí)間處于zui佳狀態(tài)。每個(gè)細(xì)節(jié)設(shè)計(jì)得很仔細(xì)，使得儀器的效率zui大化，操作zui簡(jiǎn)化。

自動(dòng)操作

通過(guò)***次點(diǎn)擊就可以進(jìn)行自動(dòng)燈絲加熱和電子槍對(duì)中。眾多的自動(dòng)程序減少了用戶的操作時(shí)間，并提供了操作的自動(dòng)導(dǎo)航與自動(dòng)化分析。通過(guò)內(nèi)置腳本語(yǔ)言（Python）用戶可以進(jìn)入軟件大多數(shù)功能，包括電鏡控制、樣品臺(tái)導(dǎo)航、圖像采集、處理與分析。通過(guò)腳本語(yǔ)言用戶也可以自定義軟件的自動(dòng)操作。

用戶界面友好的軟件

· 用戶界面有各種語(yǔ)言版本

· 多用戶界面（包括了EasySEMTM模式）不同賬戶的權(quán)利使常規(guī)分析過(guò)程更快

· 圖像文件管理與報(bào)告生成

· 內(nèi)置的自動(dòng)系統(tǒng)檢查

· 通過(guò)局域網(wǎng)或互聯(lián)網(wǎng)可實(shí)現(xiàn)電鏡遠(yuǎn)程診斷

· 模塊化軟件體系結(jié)構(gòu)

· 標(biāo)準(zhǔn)的軟件模塊包括了：測(cè)量工具、圖像處理、對(duì)象區(qū)域等

· 選配軟件包括了：顆粒度分析、三維表面重構(gòu)等

VEGA3 GM

VEGA3 GM是***款由計(jì)算機(jī)控制，可在高低真空模式下工作的全自動(dòng)鎢燈絲(選配LaB6)掃描電子顯微鏡，具有突出的光學(xué)性能，清晰的數(shù)字化圖像，成熟的操作軟件，用戶界面友好等特征?；赪indows™平臺(tái)的操作軟件提供了簡(jiǎn)易的電鏡操作方式和完整的圖像采集功能，可以保存標(biāo)準(zhǔn)文件格式的圖片，可以對(duì)圖像進(jìn)行管理、處理和測(cè)量，實(shí)現(xiàn)了電鏡的自動(dòng)設(shè)置和許多其它自動(dòng)操作。

VEGA3 XM

VEGA3 XM是***款由計(jì)算機(jī)控制，可在高低真空模式下工作的全自動(dòng)鎢燈絲掃描電子顯微鏡，具有突出的光學(xué)性能，清晰的數(shù)字化圖像，成熟的操作軟件，用戶界面友好等特征?；赪indows™平臺(tái)的操作軟件提供了簡(jiǎn)易的電鏡操作方式和完整的圖像采集功能，可以保存標(biāo)準(zhǔn)文件格式的圖片，可以對(duì)圖像進(jìn)行管理、處理和測(cè)量，實(shí)現(xiàn)了電鏡的自動(dòng)設(shè)置和許多其它自動(dòng)操作。

VEGA3 LM

VEGA3 LM是***款由計(jì)算機(jī)控制，可在高真空和低真空模式下工作全自動(dòng)化鎢燈絲掃描電子顯微鏡，具有突出的光學(xué)性能，清晰的數(shù)字化圖像，成熟的操作軟件，用戶界面友好等特征。基于Windows™平臺(tái)的操作軟件提供了簡(jiǎn)易的電鏡操作方式和完整的圖像采集功能，可以保存標(biāo)準(zhǔn)文件格式的圖片，可以對(duì)圖像進(jìn)行管理、處理和測(cè)量，實(shí)現(xiàn)了電鏡的自動(dòng)設(shè)置和許多其它自動(dòng)操作。

VEGA3 SB - EasyProbe

VEGA 3 SBU - EasyProbe是***款掃描電子顯微鏡（SEM）與X-射線能譜儀（EDS）的***體化系統(tǒng)，其具有圖像質(zhì)量高，自動(dòng)化程度高，操作簡(jiǎn)單，能實(shí)時(shí)快速進(jìn)行元素分析等特點(diǎn)。另外，可變真空模式下，用戶可以在自然狀態(tài)下觀測(cè)不導(dǎo)電樣品。

VEGA3 SB

VEGA3 SB是***款完全由計(jì)算機(jī)控制的全自動(dòng)鎢燈絲掃描電子顯微鏡，具有突出的光學(xué)性能，清晰的數(shù)字化圖像，成熟的操作軟件，用戶界面友好等特征?；赪indows™平臺(tái)，VEGA系列的操作系統(tǒng)配置了包括中文在內(nèi)的多語(yǔ)種掃描電鏡操作界面（唯yi使用核心漢化操作軟件的掃描電鏡），獲取圖片后可以用常見(jiàn)的標(biāo)準(zhǔn)格式存儲(chǔ)圖像，強(qiáng)化了圖片歸檔、圖像處理和測(cè)量、電鏡自動(dòng)化及其他的***些自動(dòng)功能。

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鎢燈絲掃描電鏡 VEGA

· VEGA3 GM

· VEGA3 XM

· VEGA3 LM

· VEGA3 SB - EasyProbe

· VEGA3 SB

產(chǎn)品列表

－－ 選擇產(chǎn)品 －－

應(yīng)用實(shí)例

更多圖片

 鎢燈絲掃描電鏡 VEGA

VEGA3 GM是***款由計(jì)算機(jī)控制，可在高低真空模式下工作的全自動(dòng)鎢燈絲(選配LaB6)掃描電子顯微鏡，具有突出的光學(xué)性能，清晰的數(shù)字化圖像，成熟的操作軟件，用戶界面友好等特征?；?/font>Windows™平臺(tái)的操作軟件提供了簡(jiǎn)易的電鏡操作方式和完整的圖像采集功能，可以保存標(biāo)準(zhǔn)文件格式的圖片，可以對(duì)圖像進(jìn)行管理、處理和測(cè)量，實(shí)現(xiàn)了電鏡的自動(dòng)設(shè)置和許多其它自動(dòng)操作。

· 概述

分析潛力

· GM樣品室配備有5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)

· 多于20個(gè)接口，優(yōu)化的幾何設(shè)計(jì)更適合安裝能譜儀（EDS）、波譜儀（WDX）、電子背散射衍射（EBSD）

· ***流YAG閃爍器式探頭

· 可選各種探頭和配件

· 渦輪分子泵和機(jī)械泵同時(shí)工作，幾分鐘即可達(dá)到儀器操作需要的真空狀態(tài)

· 在可變真空模式下可觀測(cè)不導(dǎo)電的樣品（XMU型號(hào)）

· 可選樣品室減振方式

· 3維Metrology軟件提供了三維重構(gòu)與3維測(cè)量功能

VEGA3配置

GM型號(hào)適合觀測(cè)大樣品。


VEGA3 GMH
超大樣品室，高真空模式，適用于觀測(cè)大型導(dǎo)電材料。


VEGA3 GMU
可變真空式掃描電鏡，體現(xiàn)了高真空模式和低真空模式的優(yōu)點(diǎn)。在低真空模式下可以觀測(cè)不導(dǎo)電的樣品，不需要噴金。

配件

二次電子探頭（SE），ET型二次電子探頭（YAG 閃爍體）
可移動(dòng)式背散射電子探頭（RBSE）*，可移動(dòng)環(huán)行閃爍體類（YAG）具有高靈敏度和原子序數(shù)分辨率（0.1Z）
低真空二次電子探頭
探針電流測(cè)量
壓差式防碰撞報(bào)警裝置
可觀察樣品室內(nèi)部的紅外線攝像頭
冷臺(tái)
等，各種配件可供選擇

標(biāo)配：

· 測(cè)量

· 圖象處理

· 3維掃描

· 硬度測(cè)量

· 多圖像校準(zhǔn)

· 對(duì)象區(qū)域

· 自動(dòng)關(guān)機(jī)時(shí)間

· 公差

· 編程軟件

· 定位

· 投影面積

· EasySEM^TM

根據(jù)實(shí)際配置和需求

鎢燈絲掃描電鏡 VEGA

VEGA3 XM是***款由計(jì)算機(jī)控制，可在高低真空模式下工作的全自動(dòng)鎢燈絲掃描電子顯微鏡，具有突出的光學(xué)性能，清晰的數(shù)字化圖像，成熟的操作軟件，用戶界面友好等特征?；?/font>Windows™平臺(tái)的操作軟件提供了簡(jiǎn)易的電鏡操作方式和完整的圖像采集功能，可以保存標(biāo)準(zhǔn)文件格式的圖片，可以對(duì)圖像進(jìn)行管理、處理和測(cè)量，實(shí)現(xiàn)了電鏡的自動(dòng)設(shè)置和許多其它自動(dòng)操作。

· 概述

分析潛力

· XM樣品室配備有5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)

· 多于12個(gè)接口，優(yōu)化的幾何設(shè)計(jì)更適合安裝能譜儀（EDS）、波譜儀（WDX）、電子背散射衍射（EBSD）

· ***流YAG閃爍器式探頭

· 可選各種探頭和配件

· 渦輪分子泵和機(jī)械泵同時(shí)工作，幾分鐘即可達(dá)到儀器操作需要的真空狀態(tài)

· 在可變真空模式下可觀測(cè)不導(dǎo)電的樣品（XMU型號(hào)）

· 可選樣品室減振方式

· 3維Metrology軟件提供了三維重構(gòu)與3維測(cè)量功能

VEGA3配置

XM型號(hào)適合觀測(cè)大樣品。

VEGA3 XMH
超大樣品室，高真空模式，適用于觀測(cè)大型導(dǎo)電材料。

VEGA3 XMU
可變真空式掃描電鏡，體現(xiàn)了高真空模式和低真空模式的優(yōu)點(diǎn)。在低真空模式下可以觀測(cè)不導(dǎo)電的樣品，不需要噴金。

· 軟件

標(biāo)配：

測(cè)量

圖象處理

3維掃描

硬度測(cè)量

多圖像校準(zhǔn)

對(duì)象區(qū)域

自動(dòng)關(guān)機(jī)時(shí)間

公差

編程軟件

定位

投影面積

EasySEMTM

根據(jù)實(shí)際配置和需求

· 

· 技術(shù)規(guī)格

· 配件

· 二次電子探頭（SE），ET型二次電子探頭（YAG 閃爍體）

· 可移動(dòng)式背散射電子探頭（RBSE）*，可移動(dòng)環(huán)行閃爍體類（YAG）具有高靈敏度和原子序數(shù)分辨率（0.1Z）

· 低真空二次電子探頭

· 探針電流測(cè)量

· 壓差式防碰撞報(bào)警裝置

· 可觀察樣品室內(nèi)部的紅外線攝像頭

· 冷臺(tái)

等，各種配件可供選擇

· 

· 圖片

· 其他

鎢燈絲掃描電鏡 VEGA

VEGA3 LM是***款由計(jì)算機(jī)控制，可在高真空和低真空模式下工作全自動(dòng)化鎢燈絲掃描電子顯微鏡，具有突出的光學(xué)性能，清晰的數(shù)字化圖像，成熟的操作軟件，用戶界面友好等特征?；?/font>Windows™平臺(tái)的操作軟件提供了簡(jiǎn)易的電鏡操作方式和完整的圖像采集功能，可以保存標(biāo)準(zhǔn)文件格式的圖片，可以對(duì)圖像進(jìn)行管理、處理和測(cè)量，實(shí)現(xiàn)了電鏡的自動(dòng)設(shè)置和許多其它自動(dòng)操作。

· 概述

分析潛力：

· LM大樣品室、5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)

· 樣品室有11個(gè)接口，適用于安裝EDX、EBSD、EBIC等探頭

· ***流YAG 閃爍體探頭

· 選配包括了各種探頭于可選的配件

· 渦輪分子泵和機(jī)械泵同時(shí)工作，幾分鐘可達(dá)到儀器操作需要的真空狀態(tài)

· 在可變真空模式下可觀測(cè)不導(dǎo)電的樣品（LMU型號(hào)）

· 可選的樣品室減振方式

· 3維Metrology軟件提供了三圍重構(gòu)與3維測(cè)量功能

VEGA3配置

VEGA3 LMH
高真空式SEM，配備有5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)，適用于觀測(cè)小型導(dǎo)電樣品。

VEGA3 LMU
可變真空式SEM，體現(xiàn)了高真空模式和低真空模式的優(yōu)點(diǎn)。在低真空模式下可以觀測(cè)非導(dǎo)電樣品，不需要噴金。

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鎢燈絲掃描電鏡 VEGA

· VEGA3 SB

· VEGA3 SB - EasyProbe

· VEGA3 LM

· VEGA3 XM

· VEGA3 GM

產(chǎn)品列表

－－ 選擇產(chǎn)品 －－

應(yīng)用實(shí)例

更多圖片

· 軟件

標(biāo)配：

· 測(cè)量

· 圖象處理

· 3維掃描

· 硬度測(cè)量

· 多圖像校準(zhǔn)

· 對(duì)象區(qū)域

· 自動(dòng)關(guān)機(jī)時(shí)間

· 公差

· 編程軟件

· 定位

· 投影面積

· EasySEM^TM

選配：

根據(jù)實(shí)際配置和需求

· 

· 技術(shù)規(guī)格

· 

· 配件

標(biāo)配：

· 二次電子探頭（SE），ET型二次電子探頭（YAG 閃爍體）

· 可移動(dòng)式背散射電子探頭（RBSE）*，可移動(dòng)環(huán)行閃爍體類（YAG）具有高靈敏度和原子序數(shù)分辨率（0.1Z）

· 探針電流測(cè)量

· 壓差式防碰撞報(bào)警裝置

· 可觀察樣品室內(nèi)部的紅外線攝像頭

· 冷臺(tái)

· 等，各種附件可供選擇

· 

· 圖片

· 其他

鎢燈絲掃描電鏡 VEGA

VEGA 3 SBU - EasyProbe是***款掃描電子顯微鏡（SEM）與X-射線能譜儀（EDS）的***體化系統(tǒng)，其具有圖像質(zhì)量高，自動(dòng)化程度高，操作簡(jiǎn)單，能實(shí)時(shí)快速進(jìn)行元素分析等特點(diǎn)。另外，可變真空模式下，用戶可以在自然狀態(tài)下觀測(cè)不導(dǎo)電樣品。

· 概述

特點(diǎn)：

· SB型號(hào)樣品室裝有3軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的樣品臺(tái)

· ***流YAG閃爍體探測(cè)器

· 樣品室有10個(gè)接口可用于安裝EDX、EBSD、EBIC等探測(cè)器

· 可選配其他探測(cè)器和附件

· 渦輪分子泵和機(jī)械泵同時(shí)工作幾分鐘可達(dá)到儀器操作需要的真空狀態(tài)

· 在可變真空模式下可觀察非導(dǎo)電的樣品（SBU型號(hào)）

· 利用3D Metrology軟件可以實(shí)現(xiàn)3維重構(gòu)及測(cè)量功能

VEGA3 SB-Easyprobe配置

VEGA3 SBH-Easyprobe

高真空型SEM，配備有3軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)，適用于觀察小型導(dǎo)電樣品。同時(shí)可完成元素分析

VEGA3 SBU-Easyprobe

可變真空型掃描電鏡，體現(xiàn)了高真空模式和低真空模式的優(yōu)點(diǎn)，可以在不噴金的情況下利用低真空模式直接觀察不導(dǎo)電樣品。同時(shí)可完成能譜分析。

· 軟件

標(biāo)配：

測(cè)量

圖象處理

3維掃描

硬度測(cè)量

多圖像校準(zhǔn)

對(duì)象區(qū)域

自動(dòng)關(guān)機(jī)時(shí)間

公差

編程軟件

定位

投影面積

EasySEMTM

選配：

根據(jù)實(shí)際配置和需求

· 

· 技術(shù)規(guī)格

· 配件

· 二次電子探頭（SE），ET型二次電子探頭（YAG 閃爍體）

· 可移動(dòng)式背散射電子探頭（RBSE）*，可移動(dòng)環(huán)行閃爍體類（YAG）具有高靈敏度和原子序數(shù)分辨率（0.1Z）

· 低真空二次電子探頭

· 探針電流測(cè)量

· 壓差式防碰撞報(bào)警裝置

· 可觀察樣品室內(nèi)部的紅外線攝像頭

各種配件可供選擇

· 

· 圖片

· 其他

鎢燈絲掃描電鏡 VEGA

VEGA3 SB是***款完全由計(jì)算機(jī)控制的全自動(dòng)鎢燈絲掃描電子顯微鏡，具有突出的光學(xué)性能，清晰的數(shù)字化圖像，成熟的操作軟件，用戶界面友好等特征。基于Windows™平臺(tái)，VEGA系列的操作系統(tǒng)配置了包括中文在內(nèi)的多語(yǔ)種掃描電鏡操作界面（唯yi使用核心漢化操作軟件的掃描電鏡），獲取圖片后可以用常見(jiàn)的標(biāo)準(zhǔn)格式存儲(chǔ)圖像，強(qiáng)化了圖片歸檔、圖像處理和測(cè)量、電鏡自動(dòng)化及其他的***些自動(dòng)功能。

· 概述

· 軟件

· 技術(shù)規(guī)格

· 配件

· 圖片

· 其他

分析潛力

· SB型號(hào)樣品室裝有3軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的樣品臺(tái)

· ***流YAG 閃爍體探測(cè)器

· 樣品室有10個(gè)接口可用于安裝EDX、EBSD、EBIC等探測(cè)器

· 可選配其他探測(cè)器和附件

· 渦輪分子泵和機(jī)械泵同時(shí)工作幾分鐘可達(dá)到儀器操作需要的真空狀態(tài)

· 在可變真空模式下可觀察非導(dǎo)電的樣品（SBU型號(hào)）

· 利用3 D Metrology軟件可以實(shí)現(xiàn)3維重構(gòu)及測(cè)量功能

VEGA3配置

VEGA3 SBH
高真空型SEM，配備有3軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)，適用于觀察小型導(dǎo)電樣品。

VEGA3 SBU
可變真空型掃描電鏡，體現(xiàn)了高真空模式和低真空模式的優(yōu)點(diǎn)，可以在不噴金的情況下利用低真空模式直接觀察不導(dǎo)電樣品。