廣受好評的JSM-7610F的光學(xué)系統(tǒng)經(jīng)過改進(jìn),實現(xiàn)了分辨率(15kV 0.8nm、1kV 1.0nm)的進(jìn)***步提升,以嶄新的JSM-7610FPlus形象亮相。采用半浸沒式物鏡和High Power Optics照明系統(tǒng),能提供穩(wěn)定的高空間分辨率觀察和分析。
此外還具備利用GENTLEBEAMTM模式進(jìn)行低加速電壓觀察、通過r-filter分選信號等滿足各種需求的高擴(kuò)展性。主要特點如下:
◇ 半浸沒式物鏡
半浸沒式物鏡在樣品周圍形成強磁場,因而可以獲得超高分辨率。
![/static/uploadfiles/20171012/b36ca6bf-6e83-4e0d-a5a1-b1c64786767c.png 1-1.png](http://img8.app17.com/EditImg/20200506/202005061533338603747.png)
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◇ High Power Optics
High Power Optics 是獨特的電子光學(xué)系統(tǒng),既實現(xiàn)了高倍率觀察又能進(jìn)行多種分析。
![/static/uploadfiles/20171012/a583d76c-4ff4-4a18-9cdb-b75537191795.png 3-1.png](http://img8.app17.com/EditImg/20200506/202005061533342503520.png)
浸沒式肖特基場發(fā)射電子槍,可以獲得10 倍于傳統(tǒng)肖特基場發(fā)射電子槍(FEG)的探針電流,*佳光闌角控制鏡(ALC)在探針電流增大時也能保持小束斑,兩者組合起來能提供200 nA 以上的探針電流。強大的High Power Optics 系統(tǒng),從高倍率圖像觀察到EDS分析和EBSD 解析可以***直使用高分辨率的*小物鏡光闌而不需要改換。
浸沒式肖特基場發(fā)射電子槍|
![/static/uploadfiles/20171012/3c22c78a-3efa-47a9-97d8-185c3843f214.png 4-1.png](http://img8.app17.com/EditImg/20200506/202005061533349055253.png)
浸沒式肖特基場發(fā)射電子槍通過和低像差聚光鏡組合,可以有效地收集從電子槍內(nèi)發(fā)射的電子。
*佳光闌角控制鏡(ACL)
*佳光闌角控制鏡(ACL)配置在物鏡的上方,在整個探針電流范圍內(nèi)自動優(yōu)化物鏡光闌的角度。因此,即使照射樣品的探針電流很大,與傳統(tǒng)方式相比,也能獲得很小的電子束斑。
![/static/uploadfiles/20171012/9f5c5de4-a921-4011-b01a-96fa5ee81b38.png 5-1.png](http://img8.app17.com/EditImg/20200506/202005061533349523493.png)
即使探針電流很大,束斑直徑也很小
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長時間分析時穩(wěn)定度也很高
![/static/uploadfiles/20171012/c6f66da1-3d83-4c39-8aa0-d164f215a615.png 7-1.png](http://img8.app17.com/EditImg/20200506/202005061533361691858.png)
◇ 柔和電子束(GB:GENTLEBEAMTM)模式
![/static/uploadfiles/20171023/8c5faa8c-2d67-4c65-9ebb-f11d5c6a5813.jpg JSM-7610FPlus_c_p3-1.jpg](http://img8.app17.com/EditImg/20200506/202005061533364811955.jpg)
GB 模式的效果
GB 模式在低電壓下提高分辨率
左圖***般模式,右圖GB模式
![/static/uploadfiles/20171012/5a38d3f7-0ac1-49b6-b47d-29fb08a29dc4.png 9-2.png](http://img8.app17.com/EditImg/20200506/202005061533372455192.png)
增強了的低加速電壓下的分辨率
![/static/uploadfiles/20171012/af553e4b-56da-4aa1-a11e-d437f45ed99a.png 10-1.png](http://img8.app17.com/EditImg/20200506/202005061533373859665.png)
◇ r-過濾器
![/static/uploadfiles/20171012/49a853cb-077a-4023-908f-df671462c2f4.png 11-1.png](http://img8.app17.com/EditImg/20200506/202005061533383063280.png)
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◇ LABE檢測器(選配件)
![/static/uploadfiles/20171012/dfc2d8ce-fda5-4aef-9f92-ef157d4bf59c.png 13-1.png](http://img8.app17.com/EditImg/20200506/202005061533398819236.png)
利用LABE 檢測器獲取低角度背散射電子像
![/static/uploadfiles/20171012/338b0a77-3ac8-4dc5-83de-6839cfa71647.png 14-1.png](http://img8.app17.com/EditImg/20200506/202005061533405215477.png)
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◇ 擴(kuò)展性
能譜儀(EDS)
![/static/uploadfiles/20171012/cf043912-519a-443a-9662-f5ae69316397.png 16-1.png](http://img8.app17.com/EditImg/20200506/202005061533422687876.png)
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波譜儀(WDS)
![/static/uploadfiles/20171012/c5e7c727-6ed4-4f82-a396-d9bef5eeaa16.png 19-1.png](http://img8.app17.com/EditImg/20200506/202005061533444527978.png)
陰極熒光系統(tǒng)(CL)
![/static/uploadfiles/20171012/79df5e48-6d76-4666-ad32-cc5deb8a6e8d.png 20-1.png](http://img8.app17.com/EditImg/20200506/202005061533455291230.png)
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