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 分辨率

20nm （30kV, BSE Image）

放大倍率

30x~30,000x （有效放大倍率20,000x）

加速電壓

5kV to 30kV （5Kv/10Kv/15kV/20kV/30Kv-5 step）

圖像

背散射電子圖像- Backscattered  Electron Image

Observation mode

Standard Mode

Charge-up reduction mode

電子槍系統(tǒng)

燈絲類型

預(yù)對(duì)中鎢燈絲

偏壓系統(tǒng)

自動(dòng)偏壓方式

電子槍校正

手動(dòng)方式

透鏡構(gòu)成

聚光鏡

2段式磁線圈透鏡

物鏡

1段式磁線圈透鏡

探測(cè)器類型

E-T Detector

載物臺(tái)系統(tǒng)

3軸操控- X, Y-axis : 20mm / R-axis : 360°

Image shift

X, Y Image Shift （10um）

樣品尺寸

50mm in diameter, 20mm in height

圖像掃描速度

快速掃描 （Fast Scan）: 320x240 （Scan time: 0.1 sec.）

低速掃描 （Slow Scan）: 640x480 （Scan time: 3 sec.）

圖片模式1（Photo Mode 1）: 1280x960 （Scan time: 30sec.）

圖片模式2（Photo Mode 2）: 2560x1920 （Scan time: 60sec.）

自動(dòng)功能

自動(dòng)啟動(dòng)，自動(dòng)聚焦，自動(dòng)亮度對(duì)比度調(diào)節(jié)

圖像存儲(chǔ)方式

BMP, JPEG, PNG

數(shù)據(jù)顯示

放大倍率，探測(cè)器類型，電壓，真空模式，文本，標(biāo)尺等

真空系統(tǒng)

全自動(dòng)型/高者空模式+低真空模式（Multi mode）

（旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵）Rotary Pump/100Liters/min

（渦輪式分子泵）Turbo Molecular Pump/ 80Liters/sec

抽真空時(shí)間：2分鐘以內(nèi)

操控系統(tǒng)

鼠標(biāo)和鍵盤

運(yùn)行系統(tǒng)

電鏡專用筆記本電腦

OS : Microsoft Window 7

CPU : Intel CoreTM i5 or High version

Memory / HDD : 2GB / 500GB or High version

軟件

圖像文件打開，編輯，存儲(chǔ)功能

長(zhǎng)度，面積，角度等測(cè)量功能

設(shè)置數(shù)值初始化，圖像拍攝模式轉(zhuǎn)換，Archives, Setting（EDS）模式等

體積

設(shè)備主機(jī)-390（W）×640（D）×560（H）mm……1set

外置真空泵-400（W）×160（D）×340（H）mm …1set

重量

90kg

設(shè)備環(huán)境

溫度：15℃~30℃

濕度：70% or less

電源：Single phase 100~240V AC, 1KW, 50/60Hz