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TESCAN聚焦離子束雙束掃描電鏡LYRA3

價(jià)  格:詢價(jià)

產(chǎn)  地:更新時(shí)間:2021-01-18 15:05

品  牌:型  號(hào):Ga FIB-SEM

狀  態(tài):正常點(diǎn)擊量:1801

400-006-7520
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聯(lián) 系 人: 上海非利加實(shí)業(yè)有限公司

電   話: 400-006-7520

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配送方式: 上海自提或三方快遞

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TESCAN LYRA3鎵等離子雙束FIB系統(tǒng)


基于高分辨率肖特基FEG-SEM鏡筒和高性能聚焦離子束鏡筒,LYRA3 FIB-SEM是***款SEM與FIB良好結(jié)合的***體化系統(tǒng),能夠滿足高要求客戶的需要。

 

新***代場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡(LYRA3)給用戶帶來(lái)了新的技術(shù)優(yōu)點(diǎn),包括改進(jìn)的高性能電子設(shè)備使成像速度更快,包含了靜態(tài)和動(dòng)態(tài)圖像扭曲補(bǔ)償技術(shù)的超快掃描系統(tǒng),內(nèi)置的編程軟件等,都使LYRA3保持著很高的性價(jià)比。

 

LYRA3系列的設(shè)計(jì)適用于各種各樣的SEM應(yīng)用及當(dāng)今研究和工業(yè)的需求。大電子束流下的高分辨率有利于EDX、WDX、EBSD、3維斷層掃描等分析應(yīng)用。借助于高性能軟件,TESCAN的FIB-SEM已成為適合電子束/離子束光刻、TEM樣品制備等應(yīng)用的強(qiáng)大工具。LYRA3聚焦離子束掃描電子顯微鏡配備了XM與GM兩種樣品室。

現(xiàn)代電子光路

  • 獨(dú)特的大視野光路設(shè)計(jì)提供各種工作與顯示模式

  • 以電磁的方式改變物鏡光闌——中間鏡的作用如同“光闌轉(zhuǎn)換器”

  • 結(jié)合了完善的電子光學(xué)設(shè)計(jì)軟件的實(shí)時(shí)電子束追蹤(In-Flight Beam Tracing™),可模擬和優(yōu)化電子束

  • 全自動(dòng)鏡筒設(shè)置與對(duì)中

  • 成像速度很快

  • 3維電子束技術(shù)提供實(shí)時(shí)立體圖像

  • 可選的電子束遮沒(méi)裝置提供了電子束光刻技術(shù)

高性能離子光路

  • 高性能CANION FIB設(shè)備提供既快又精確的切片與TEM樣品制備技術(shù)

  • 可選的高分辨率COBRA-FIB離子束設(shè)備在成像與銑削過(guò)程中依然保持很高的分辨率

聚焦離子束裝置

  • 裝有兩套差異泵的獨(dú)特離子束裝置使離子散射效應(yīng)較更低

  • 馬達(dá)驅(qū)動(dòng)高重復(fù)性光闌轉(zhuǎn)換器

  • 電子束遮沒(méi)裝置與法拉第筒作為標(biāo)配

  • 同時(shí)可以進(jìn)行離子刻蝕/沉積與SEM成像

  • FIB的操作軟件集成在SEM軟件

  • 軟件工具欄包括了基本形狀與可編程的參數(shù)

  • 微/納米加工

  • 離子束光刻

維修簡(jiǎn)單

只需要很短的停機(jī)檢修時(shí)間,就能使得電鏡長(zhǎng)期保持在優(yōu)化的狀態(tài)。每個(gè)細(xì)節(jié)設(shè)計(jì)得非常仔細(xì),使得儀器的效率化,操作*簡(jiǎn)化。

自動(dòng)程序

自動(dòng)設(shè)置和許多其他的自動(dòng)化操作是設(shè)備的特點(diǎn)。除此之外,電鏡還有樣品臺(tái)自動(dòng)導(dǎo)航與自動(dòng)分析 程序,能明顯減少操作員的操作時(shí)間。通過(guò)內(nèi)置腳本語(yǔ)言 (Python)可進(jìn)入操作軟件的大多數(shù)功能,包括顯微鏡控制、樣品臺(tái)控制、圖像采集、處理與分析。通過(guò)腳本語(yǔ)言用戶還可以編程其自己的自動(dòng)操作程序。

用戶界面友好的軟件與軟件工具

  • 多用戶和多語(yǔ)言操作界面

  • 圖像管理與報(bào)告生成

  • 內(nèi)置的系統(tǒng)檢查與系統(tǒng)診斷

  • 網(wǎng)絡(luò)操作與遠(yuǎn)程進(jìn)入/診斷

  • 模塊化的軟件結(jié)構(gòu)

  • 標(biāo)準(zhǔn)的軟件模塊包括:自動(dòng)離子束控制、電子束寫入基本版、同時(shí)的FIB/SEM成像、預(yù)定義FIB工作模式等軟件工具

  • 可選軟件包括了:顆粒度分析標(biāo)準(zhǔn)版/專***版、3維表面重建等模塊

  • 電子束寫入軟件使聚焦離子束掃描電子顯微鏡成為能進(jìn)行電子束曝光、電子束沉積、電子束刻蝕、離子束沉積、離子束減薄的強(qiáng)大工具

  • 可選的3D Tomography軟件提供使用FIB時(shí)的全自動(dòng)連續(xù)SEM圖像,三維重構(gòu)與三維可視化

 


 

TESCAN LYRA3鎵等離子雙束FIB系統(tǒng)(XM)

分析潛力

  • XM樣品室配置5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)全計(jì)算機(jī)化優(yōu)中心樣品臺(tái),完美的幾何設(shè)計(jì)更適合安裝能譜儀(EDS)、波譜儀(WDX)、電子背散射衍射(EBSD)

  • 超大樣品室配備有大型樣品臺(tái),可以容納更大的樣品

  • 優(yōu)化的幾何設(shè)計(jì)的允許更多的接口,更適合安裝能譜儀(EDS)、波譜儀(WDX)、電子背散射衍射(EBSD)和其他探頭

  • ***流YAG閃爍器式探頭

  • 可選各種探頭和配件

  • 幾分鐘即可抽到儀器需要的工作真空

  • 在低真空模式下可以觀測(cè)不導(dǎo)電的樣品,觀測(cè)磁性樣品的效果非常好,EBSD圖像無(wú)扭曲

  • 內(nèi)置主動(dòng)式樣品室防振

     

 

LYRA3配置

LYRA3 XMH 
配有5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)全計(jì)算機(jī)化優(yōu)中心樣品臺(tái)的超大樣品室型號(hào),適用于在高真空模式下分析導(dǎo)電的樣品。

LYRA3 XMU
可變真空型掃描電鏡,體現(xiàn)了高真空模式和低真空模式的優(yōu)點(diǎn),可以在不噴金的情況下利用低真空模式直接觀察不導(dǎo)電樣品。


軟件(標(biāo)配):

  • 測(cè)量

  • 圖象處理

  • 3維掃描

  • 硬度測(cè)量

  • 多圖像校準(zhǔn)

  • 對(duì)象區(qū)域

  • 自動(dòng)關(guān)機(jī)時(shí)間

  • 公差

  • 編程軟件

  • 定位

  • 投影面積

  • EasySEMTM

軟件(選配):

根據(jù)實(shí)際配置和需求



配件:


 

  • 二次電子探頭

  • 背散射電子探頭

  • In-Beam SE

  • In-Beam BSE

  • 探針電流測(cè)量

  • 壓差式防碰撞報(bào)警裝置

  • 可觀察樣品室內(nèi)部的紅外線攝像頭

  • TOP-SIMS

  • 二次離子探頭

等,各種配件可供選擇

 

 

 

關(guān)于TESCAN

TESCAN發(fā)源于全球的電鏡制造基地-捷克Brno,是電子顯微鏡及聚焦離子束系統(tǒng)領(lǐng)域全球知名的跨***公司,有超過(guò)60年的電子顯微鏡研發(fā)和制造歷史,是掃描電子顯微鏡與拉曼光譜儀聯(lián)用技術(shù)、聚焦離子束與飛行時(shí)間質(zhì)譜儀聯(lián)用技術(shù)以及氙等離子聚焦離子束技術(shù)的開(kāi)拓者,也是行業(yè)領(lǐng)域的技術(shù)***。



產(chǎn)品參數(shù)


產(chǎn)品介紹



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