TESCAN LYRA3鎵等離子雙束FIB系統(tǒng)
基于高分辨率肖特基FEG-SEM鏡筒和高性能聚焦離子束鏡筒,LYRA3 FIB-SEM是***款SEM與FIB良好結(jié)合的***體化系統(tǒng),能夠滿足高要求客戶的需要。
新***代場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡(LYRA3)給用戶帶來(lái)了新的技術(shù)優(yōu)點(diǎn),包括改進(jìn)的高性能電子設(shè)備使成像速度更快,包含了靜態(tài)和動(dòng)態(tài)圖像扭曲補(bǔ)償技術(shù)的超快掃描系統(tǒng),內(nèi)置的編程軟件等,都使LYRA3保持著很高的性價(jià)比。
LYRA3系列的設(shè)計(jì)適用于各種各樣的SEM應(yīng)用及當(dāng)今研究和工業(yè)的需求。大電子束流下的高分辨率有利于EDX、WDX、EBSD、3維斷層掃描等分析應(yīng)用。借助于高性能軟件,TESCAN的FIB-SEM已成為適合電子束/離子束光刻、TEM樣品制備等應(yīng)用的強(qiáng)大工具。LYRA3聚焦離子束掃描電子顯微鏡配備了XM與GM兩種樣品室。
現(xiàn)代電子光路
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獨(dú)特的大視野光路設(shè)計(jì)提供各種工作與顯示模式
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以電磁的方式改變物鏡光闌——中間鏡的作用如同“光闌轉(zhuǎn)換器”
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結(jié)合了完善的電子光學(xué)設(shè)計(jì)軟件的實(shí)時(shí)電子束追蹤(In-Flight Beam Tracing™),可模擬和優(yōu)化電子束
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全自動(dòng)鏡筒設(shè)置與對(duì)中
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成像速度很快
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3維電子束技術(shù)提供實(shí)時(shí)立體圖像
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可選的電子束遮沒(méi)裝置提供了電子束光刻技術(shù)
高性能離子光路
聚焦離子束裝置
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裝有兩套差異泵的獨(dú)特離子束裝置使離子散射效應(yīng)較更低
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馬達(dá)驅(qū)動(dòng)高重復(fù)性光闌轉(zhuǎn)換器
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電子束遮沒(méi)裝置與法拉第筒作為標(biāo)配
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同時(shí)可以進(jìn)行離子刻蝕/沉積與SEM成像
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FIB的操作軟件集成在SEM軟件
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軟件工具欄包括了基本形狀與可編程的參數(shù)
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微/納米加工
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離子束光刻
維修簡(jiǎn)單
只需要很短的停機(jī)檢修時(shí)間,就能使得電鏡長(zhǎng)期保持在優(yōu)化的狀態(tài)。每個(gè)細(xì)節(jié)設(shè)計(jì)得非常仔細(xì),使得儀器的效率化,操作*簡(jiǎn)化。
自動(dòng)程序
自動(dòng)設(shè)置和許多其他的自動(dòng)化操作是設(shè)備的特點(diǎn)。除此之外,電鏡還有樣品臺(tái)自動(dòng)導(dǎo)航與自動(dòng)分析 程序,能明顯減少操作員的操作時(shí)間。通過(guò)內(nèi)置腳本語(yǔ)言 (Python)可進(jìn)入操作軟件的大多數(shù)功能,包括顯微鏡控制、樣品臺(tái)控制、圖像采集、處理與分析。通過(guò)腳本語(yǔ)言用戶還可以編程其自己的自動(dòng)操作程序。
用戶界面友好的軟件與軟件工具
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多用戶和多語(yǔ)言操作界面
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圖像管理與報(bào)告生成
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內(nèi)置的系統(tǒng)檢查與系統(tǒng)診斷
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網(wǎng)絡(luò)操作與遠(yuǎn)程進(jìn)入/診斷
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模塊化的軟件結(jié)構(gòu)
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標(biāo)準(zhǔn)的軟件模塊包括:自動(dòng)離子束控制、電子束寫入基本版、同時(shí)的FIB/SEM成像、預(yù)定義FIB工作模式等軟件工具
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可選軟件包括了:顆粒度分析標(biāo)準(zhǔn)版/專***版、3維表面重建等模塊
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電子束寫入軟件使聚焦離子束掃描電子顯微鏡成為能進(jìn)行電子束曝光、電子束沉積、電子束刻蝕、離子束沉積、離子束減薄的強(qiáng)大工具
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可選的3D Tomography軟件提供使用FIB時(shí)的全自動(dòng)連續(xù)SEM圖像,三維重構(gòu)與三維可視化
TESCAN LYRA3鎵等離子雙束FIB系統(tǒng)(XM)
分析潛力
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XM樣品室配置5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)全計(jì)算機(jī)化優(yōu)中心樣品臺(tái),完美的幾何設(shè)計(jì)更適合安裝能譜儀(EDS)、波譜儀(WDX)、電子背散射衍射(EBSD)
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超大樣品室配備有大型樣品臺(tái),可以容納更大的樣品
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優(yōu)化的幾何設(shè)計(jì)的允許更多的接口,更適合安裝能譜儀(EDS)、波譜儀(WDX)、電子背散射衍射(EBSD)和其他探頭
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***流YAG閃爍器式探頭
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可選各種探頭和配件
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幾分鐘即可抽到儀器需要的工作真空
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在低真空模式下可以觀測(cè)不導(dǎo)電的樣品,觀測(cè)磁性樣品的效果非常好,EBSD圖像無(wú)扭曲
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內(nèi)置主動(dòng)式樣品室防振
LYRA3配置
LYRA3 XMH
配有5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)全計(jì)算機(jī)化優(yōu)中心樣品臺(tái)的超大樣品室型號(hào),適用于在高真空模式下分析導(dǎo)電的樣品。
LYRA3 XMU
可變真空型掃描電鏡,體現(xiàn)了高真空模式和低真空模式的優(yōu)點(diǎn),可以在不噴金的情況下利用低真空模式直接觀察不導(dǎo)電樣品。
軟件(標(biāo)配):
軟件(選配):
根據(jù)實(shí)際配置和需求
配件:
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二次電子探頭
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背散射電子探頭
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In-Beam SE
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In-Beam BSE
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探針電流測(cè)量
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壓差式防碰撞報(bào)警裝置
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可觀察樣品室內(nèi)部的紅外線攝像頭
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TOP-SIMS
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二次離子探頭
等,各種配件可供選擇
關(guān)于TESCAN
TESCAN發(fā)源于全球的電鏡制造基地-捷克Brno,是電子顯微鏡及聚焦離子束系統(tǒng)領(lǐng)域全球知名的跨***公司,有超過(guò)60年的電子顯微鏡研發(fā)和制造歷史,是掃描電子顯微鏡與拉曼光譜儀聯(lián)用技術(shù)、聚焦離子束與飛行時(shí)間質(zhì)譜儀聯(lián)用技術(shù)以及氙等離子聚焦離子束技術(shù)的開(kāi)拓者,也是行業(yè)領(lǐng)域的技術(shù)***。