TESCAN VEGA3鎢燈絲掃描電鏡
VEGA系列的設計適合各種SEM應用及當今研究和工業(yè)的需求。經過10多年的不斷發(fā)展，TESCAN已經成功開發(fā)、研制和制造了VEGA的第三代產品。新***代的VEGA給用戶帶了*新的技術優(yōu)勢，包括改進的高性能電子設備使成像速度更快，包含了靜態(tài)和動態(tài)圖像扭曲補償技術的超快掃描系統(tǒng)，內置的編程軟件等，使VEGA系列產品保持著非常高的性價比。
LaB6發(fā)射源
TESCAN能提供介于肖特基與鎢燈絲性能之間的LaB6（六硼化鑭）作為電子發(fā)射源。LaB6的優(yōu)勢包括：穩(wěn)定的電子發(fā)射源（與場發(fā)射電子源相比），在陰極較低溫度下可獲取比較高的束流（與鎢燈絲電子源相比）。這就意味著在整個范圍的加速電壓和很長的使用壽命中，LaB6可以保持很高的亮度和分辨率?；谄浞浅８叩陌l(fā)射電流，LaB6是需要大電子束流應用領域的正確選擇。
現(xiàn)代電子光路
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獨特的四透鏡大視野光路設計提供各種各樣的工作與顯示模式
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以電磁的方式改變物鏡光闌——中間鏡的作用如同"光闌轉換器"
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透鏡與線圈的優(yōu)質材料使成象率達到20ns/像素，并減少了動態(tài)扭曲效應
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結合了完善的電子光學設計軟件的實時電子束追蹤（In-Flight Beam Tracing™），可模擬和優(yōu)化電子束
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鏡筒設計提供了全自動電子光路設置，鏡筒不含機械對中結構
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3維電子束技術提供了實時立體圖像
檢修方便
只要很短的停機檢查后就能保持電鏡長時間處于*佳狀態(tài)。每個細節(jié)設計得很仔細，使得儀器的效率化，操作*簡化。
自動操作
通過***次點擊就可以進行自動燈絲加熱和電子槍對中。眾多的自動程序減少了用戶的操作時間，并提供了操作的自動導航與自動化分析。通過內置腳本語言（Python）用戶可以進入軟件大多數(shù)功能，包括電鏡控制、樣品臺導航、圖像采集、處理與分析。通過腳本語言用戶也可以自定義軟件的自動操作。
用戶界面友好的軟件
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用戶界面有各種語言版本
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多用戶界面（包括了EasySEMTM模式）不同賬戶的權利使常規(guī)分析過程更快
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圖像文件管理與報告生成
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內置的自動系統(tǒng)檢查
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通過局域網(wǎng)或互聯(lián)網(wǎng)可實現(xiàn)電鏡遠程診斷
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模塊化軟件體系結構
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標準的軟件模塊包括了：測量工具、圖像處理、對象區(qū)域等
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選配軟件包括了：顆粒度分析、三維表面重構等
TESCAN VEGA3超大樣品室鎢燈絲掃描電鏡（GM）
分析潛力：
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GM樣品室配備有5軸馬達驅動樣品臺
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多于20個接口，優(yōu)化的幾何設計更適合安裝能譜儀（EDS）、波譜儀（WDX）、電子背散射衍射（EBSD）
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***流YAG閃爍器式探頭
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可選各種探頭和配件
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渦輪分子泵和機械泵同時工作，幾分鐘即可達到儀器操作需要的真空狀態(tài)
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在可變真空模式下可觀測不導電的樣品（XMU型號）
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可選樣品室減振方式
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3維Metrology軟件提供了三維重構與3維測量功能
VEGA3配置：
GM型號適合觀測大樣品。
VEGA3 GMH
超大樣品室，高真空模式，適用于觀測大型導電材料。
VEGA3 GMU
可變真空式掃描電鏡，體現(xiàn)了高真空模式和低真空模式的優(yōu)點。在低真空模式下可以觀測不導電的樣品，不需要噴金。
軟件（標配）：
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測量
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圖象處理
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3維掃描
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硬度測量
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多圖像校準
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對象區(qū)域
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自動關機時間
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公差
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編程軟件
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定位
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投影面積
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EasySEMTM
配件：
滬公網(wǎng)安備31011502016460號
