SEM兼容原子力顯微鏡
上海非利加實業(yè)有限公司
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產品特性
· 同步AFM 和 SEM 成像
· 兼容市面上的主流SEM電鏡
· 超高分辨率形貌掃描
· 通過納米壓痕定量測量納米力
· 真空載鎖兼容
· 操作穩(wěn)定性高,不受SEM電子束干擾
規(guī)格參數
系統(tǒng)概況 | 系統(tǒng)尺寸 | 100x100x35 |
SEM載鎖兼容 | 根據客戶需求提供方案 | |
可用環(huán)境 | SEM真空環(huán)境兼容 | |
系統(tǒng)重量 | 400g+SEM/FIB適配器 | |
樣品運動臺 | 運動范圍 | 15x15x5mm |
集成編碼器 | 可選 | |
閉環(huán)運動分辨率 | 1nm | |
運動速度 | >45mm/s | |
小范圍掃描器 | 掃描范圍 | 35x35x5μm |
集成編碼器 | 有 | |
閉環(huán)分辨率 | 優(yōu)于0.2nm | |
掃描速度 | 8μm/s | |
漂移率 | <2nm/min | |
AFM傳感探頭 | 傳感原理 | 壓阻式 |
掃描模式 | 接觸式 | |
力感應分辨率 | 優(yōu)于5nN | |
成像分辨率 | 優(yōu)于1nm | |
力傳感范圍 | +/200μN |
應用案例
SEM-AFM圖像融合
SEM成像具有高橫向分辨率和掃描速率的優(yōu)勢,結合AFM成像提供的三維形貌信息,可獲取新的而又全面的信息
亞納米成像分辨率
全閉環(huán)編碼系統(tǒng)確保在沒有圖像失真的情況下獲得超高形貌成像分辨率,同時獲取亞納米成像分辨率。
納米壓痕和拉伸測試
樣品的納米力學性能可以在該儀器中通過納米壓痕和納米拉伸測試試驗技術進行測量。在SEM電鏡成像下,可實時觀測壓痕和拉伸過程。專用軟件提供了內置的計算工具,用于分析和顯示獲取的觀測數據。
高真空環(huán)境/SEM兼容
結構緊湊的AFM兼容市面上大部分的SEM和FIB,并能夠在數秒內完成安裝和拆卸。系統(tǒng)允許很小的工作范圍(5mm),同時兼容標準的SEM分析技術(如EDS、EBSD、WSD)。
多倫多納米儀器公司(TNI)是多倫多大學的高科技衍生產品。該公司是為工業(yè)和學術研究領域提供完整的納米處理解決方案的提供商。TNI提供了***套納米儀器,包括我們的超精密LifeForce納米操作儀器;SEM兼容的AFM儀器;兼容SEM的納米壓痕儀; 和測力工具。TNI專***內部設計和制造尖端的硬件,軟件和末端執(zhí)行器(例如,微型納米夾具,力傳感器),以確保*佳性能和可靠性。TNI提供了現成的系統(tǒng),并與客戶***起提供定制的解決方案/儀器,以滿足客戶的需求
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