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HORIBA UVISEL Plus研究***經(jīng)典型橢偏儀 

儀器簡介：

橢圓偏振光譜是***種無損無接觸的光學(xué)測量技術(shù)，基于測量線偏振光經(jīng)過薄膜樣品反射后偏振狀態(tài)發(fā)生的改變，通過模型擬合后得到薄膜、界面和表面粗糙層的厚度以及光學(xué)性質(zhì)等等，可測厚度范圍為幾埃至幾十微米。此外，還可以測試材料的反射率及透過率。

技術(shù)參數(shù)：

* 光譜范圍: 190-885 nm（可擴展至2100nm）

*微光斑可選50μm-100μm-1mm

*探測器：分別針對紫外，可見和近紅外提供優(yōu)化的PMT和IGA探測器

*自動樣品臺尺寸：多種樣品臺可選

*自動量角器：變角范圍40° - 90°，全自動調(diào)整，小步長0.01°

主要特點：

*50KHz 高頻PEM 相調(diào)制技術(shù)，測量光路中無運動部件

*具備超薄膜所需的測量精度，超厚膜所需的高光譜分辨率

*具有毫秒***超快動態(tài)采集模式，可用于在線實時監(jiān)測

*自動平臺樣品掃描成像、變溫臺、電化學(xué)反應(yīng)池、液體池、密封池等多種附件

*配置靈活